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    Precision sensors, actuators and systems
    ed. by H. S. Tzou ..
    Dordrecht [u.a.]: Kluwer Acad. Publ, 1992
    Sammelwerk, Gedruckte Ressource
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    Multicomponent and multilayered thin films for advanced microtechnologies: techniques, fundamentals and devices ; [proceedings of the NATO Advanced Study Institute on Multicomponent and Multilayered Thin Films for Advanced Microtechnologies, Bad Windsheim, Germany, September 21 - October 2, 1992]
    ed. by Orlando Auciello ..
    Dordrecht [u.a.]: Kluwer, 1993
    Konferenzschrift, Sammelwerk, Gedruckte Ressource
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    Konstruktionselemente der Feinmechanik
    Hrsg.: Werner Krause. [Autoren: E. Bürger ...]
    2., stark bearb. Aufl.. - München [u.a.]: Hanser, 1993
    Sammelwerk, Gedruckte Ressource
  4. Detailansicht für Treffer 4 öffnen
    Technologien für Mikrosysteme: Stand und Entwicklung ; integrierte Optik, Schichttechniken, Mikromechanik, Halbleitertechniken, Faseroptik
    Magdala Gronau (Hrsg.). Joachim Hafkesbrink ..
    Düsseldorf: VDI-Verl, 1993
    Sammelwerk, Gedruckte Ressource
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    Microsystem technology in chemistry and life science
    with contributions by R. C. Anderson ... Vol. ed.: A. Manz ..
    Berlin [u.a.]: Springer, 1998
    Aufsatzsammlung, Sammelwerk, Gedruckte Ressource
  6. Detailansicht für Treffer 6 öffnen
    Micro-system technologies 91: 2. International Conference on Micro-, Electro-, Opto-, Mechanic Systems and Components, Berlin, October 20 - November 1, 1991
    Rudolf Krahn ... (ed.)
    Berlin [u.a.]: vde-Verl, 1991
    Konferenzschrift, Sammelwerk, Gedruckte Ressource
  7. Detailansicht für Treffer 7 öffnen
    Micro-system technologies 90
    1st International Conference on Micro-, Electro-, Opto-, Mechanic Systems and Components, Berlin 10 - 13 September 1990. Herbert Reichl (ed.)
    Berlin [u.a.]: Springer, 1990
    Konferenzschrift, Sammelwerk, Gedruckte Ressource
  8. Detailansicht für Treffer 8 öffnen
    Sensors and microsystems: proceedings of the 5th Italian conference ; extended to Mediterranean countries ; Lecce, Italy, 12 - 16 February 2000
    [The Fifth Italian Conference on Sensors and Microsystems]. Ed. C. Di Natale ..
    Singapore [u.a.]: World Scientific, 2000
    Konferenzschrift, Sammelwerk, Gedruckte Ressource
  9. Detailansicht für Treffer 9 öffnen
    Sensors and microsystems: proceedings of the 19th AISEM 2017 National Conference
    Alessandro Leone [und 5 weitere] (editors)
    Cham: Springer, [2018]
    Konferenzschrift, Sammelwerk, Gedruckte Ressource
  10. Detailansicht für Treffer 10 öffnen
    Proceedings of the 3rd Italian Conference Sensors and Microsystems: Genova, Italy, 11 - 13 February 1998
    ed. C. Di Natale ..
    Singapore [u.a.]: World Scientific, 1999
    Sammelwerk, Gedruckte Ressource
  11. Detailansicht für Treffer 11 öffnen
    Smart electronics and MEMS: Smart structures and materials 96 ; 28 - 29 February 1996, San Diego, California
    Vijay K. Varadan ..., chairs/ed
    Bellingham, Wash., 1997
    Konferenzschrift, Sammelwerk, Gedruckte Ressource
  12. Detailansicht für Treffer 12 öffnen
    Fertigungsverfahren in der Gerätetechnik
    hrsg. von Franz Grünwald. [Autoren: Horst Beyer ...]
    2., stark bearb. Aufl.. - München [u.a.]: Hanser, 1985
    Sammelwerk, Gedruckte Ressource
  13. Detailansicht für Treffer 13 öffnen
    Feinwerktechnik in Konstruktion und automatisierter Fertigung: Vorträge d. FWT-Fachtagung anlässl. d. VDE-Kongresses '86 am 14. u. 15. Oktober 1986 in Nürnberg
    Veranst. VDI/VDE-Ges. Feinwerktechnik (FWT). Wiss. Tagungsleitung: R. Feiertag
    Berlin [u.a.]: VDE-Verlag, 1986
    Konferenzschrift, Sammelwerk, Gedruckte Ressource
  14. Detailansicht für Treffer 14 öffnen
    Microsensors
    ed. by Richard S. Muller ..
    New York: IEEE Pr, 1991
    Sammelwerk, Gedruckte Ressource
  15. Detailansicht für Treffer 15 öffnen
    Micromechanics and MEMS: classic and seminal papers to 1990
    ed. by William S. Trimmer
    Piscataway, NJ: IEEE Press, 1997
    Sammelwerk, Gedruckte Ressource
  16. Detailansicht für Treffer 16 öffnen
    Proceedings of the 4th Italian Conference Sensors and Microsystems: Roma, Italy, 3 - 5 February 1999
    ed. C. Di Natale ..
    Singapore [u.a.]: World Scientific, 2000
    Sammelwerk, Gedruckte Ressource
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    Sensor technology and devices
    ed. by Ljubisa Ristic
    Boston [u.a.]: Artech House, 1994
    Sammelwerk, Gedruckte Ressource
  18. Detailansicht für Treffer 18 öffnen
    Mobil mit Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik: Vorträge der GMM-Fachtagung anläßlich des VDE-Kongresses '98 am 21. und 22. Oktober 1998 in Stuttgart
    Veranst.: VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik (GMM). Wiss. Tagungsleitung: Herbert Reichl
    Berlin [u.a.]: VDE-Verl, 1998
    Konferenzschrift, Sammelwerk, Gedruckte Ressource
  19. Detailansicht für Treffer 19 öffnen
    Fertigung in der Feinwerk- und Mikrotechnik: Verfahren, Werkstoffe, Gestaltung
    hrsg. von Werner Krause. [Autoren: Gerald Gerlach ...]
    München [u.a.]: Hanser, 1996
    Sammelwerk, Gedruckte Ressource
  20. Detailansicht für Treffer 20 öffnen
    Mikromechanik: Mikrofertigung mit Methoden der Halbleitertechnologie
    Anton Heuberger (Hrsg.)
    Berlin [u.a.]: Springer, 1989
    Sammelwerk, Gedruckte Ressource

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