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    Prozesstechnologie: Fertigungsverfahren für integrierte MOS-Schaltungen
    G. Schumicki ..
    Berlin [u.a.]: Springer, 1991
    Sammelwerk, Gedruckte Ressource
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    Handbook of ion implantation technology
    ed. by J. F. Ziegler
    Amsterdam [u.a.]: North-Holland, 1992
    Aufsatzsammlung, Sammelwerk, Gedruckte Ressource
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    Patterngeneration fuer Elektronenstrahllithographie mit Kompensationsbelichtung
    Arndt, Norbert
    1984
    Monographie, Hochschulschrift, Gedruckte Ressource
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    Applications of plasma processes to VLSI technology
    ed. by Takuo Sugano
    New York [u.a.]: Wiley, 1985
    Sammelwerk, Gedruckte Ressource
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    Maskentechnik für Mikroelektronik-Bausteine, 6. München, 9. November 1989: Tagung
    [... Fachtagung Maskentechnik für Mikroelektronik-Bausteine]. VDI/VDE-Ges. Feinwerktechnik
    Düsseldorf: VDI-Verl, 1989
    Konferenzschrift, Monographie, Teil eines Werkes, Gedruckte Ressource
  6. Detailansicht für Treffer 6 öffnen
    Methods and materials in microelectronic technology: [proceedings of the International Symposium on Methods and Materials in Microelectronic Technology, held September 29 - October 1, 1982, in Bad Neuenahr, Federal Republic of Germany]
    ed. by Joachim Bargon
    New York [u.a.]: Plenum Press, 1984
    Konferenzschrift, Sammelwerk, Gedruckte Ressource
  7. Detailansicht für Treffer 7 öffnen
    Maskentechnik für Mikroelektronik-Bausteine, 3. München, 13. November 1986: Tagung
    [... Fachtagung Maskentechnik für Mikroelektronik-Bausteine]. VDI/VDE-Ges. Feinwerktechnik
    Düsseldorf: VDI-Verl, 1986
    Monographie, Teil eines Werkes, Gedruckte Ressource
  8. Detailansicht für Treffer 8 öffnen
    Integrated circuit manufacturability: the art of process and design integration
    the Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc., New York. Ed. by José Pineda de Gyvez ..
    Piscataway, NJ: IEEE Press, 1999
    Sammelwerk, Gedruckte Ressource
  9. Detailansicht für Treffer 9 öffnen
    Dickfilmtechnik: eine umfassende Einführung in die Praxis der Dickfilmtechnologie ; mit 11 Tabellen
    Keith E. G. Pitt. [Übertr. aus dem Engl.: Jürgen Park. Techn. Bearb.: Michael Heysinger]
    München: Franzis, 1983
    Monographie, Einführung, Gedruckte Ressource
  10. Detailansicht für Treffer 10 öffnen
    Semiconductor silicon crystal technology
    Shimura, Fumio
    2. [Dr.]. - San Diego [u.a.].: Acad. Pr, 1989
    Monographie, Gedruckte Ressource
  11. Detailansicht für Treffer 11 öffnen
    Novel silicon based technologies: [proceedings of the NATO Advanced Study Institute on Novel Silicon Based Technologies, Boca Raton, Florida, USA, 17 - 28 July, 1989]
    ed. by R. A. Levy
    Dordrecht [u.a.]: Kluwer Acad. Publ, 1991
    Konferenzschrift, Aufsatzsammlung, Sammelwerk, Gedruckte Ressource
  12. Detailansicht für Treffer 12 öffnen
    Deposition and growth: limits for microelectronics: [Topical Conference on Deposition and Growth: Limits for Microelectronics was held ... in Anaheim, Calif. on November 3 - 5, 1987 ...]
    ed.: G. W. Rubloff
    New York, 1988
    Konferenzschrift, Sammelwerk, Gedruckte Ressource
  13. Detailansicht für Treffer 13 öffnen
    Laser microfabrication: thin film processes and lithography
    ed. by Daniel J. Ehrlich ..
    1. [Dr.]. - Boston [u.a.]: Acad. Pr, [19]89
    Sammelwerk, Gedruckte Ressource
  14. Detailansicht für Treffer 14 öffnen
    Circuit, device and process simulation: mathematical and numerical aspects
    G. F. Carey ..
    Chichester [u.a.]: Wiley, 1996
    Sammelwerk, Gedruckte Ressource
  15. Detailansicht für Treffer 15 öffnen
    Materials issues and modeling for device nanofabrication: symposia held November 29 - December 2, 1999, Boston, Massachusetts, U.S.A
    ed.: Lhadi Merhari ..
    Warrendale, Pa.: MRS, Materials Research Society, 2000
    Konferenzschrift, Sammelwerk, Gedruckte Ressource
  16. Detailansicht für Treffer 16 öffnen
    Handbook of advanced semiconductor technology and computer systems
    edited by Guy Rabbat
    New York: Van Nostrand Reinhold, 1988
    Aufsatzsammlung, Sammelwerk, Gedruckte Ressource
  17. Detailansicht für Treffer 17 öffnen
    Plasma etching in semiconductor fabrication
    Russ A. Morgan
    Amsterdam [u.a.]: Elsevier, 1985
    Monographie, Gedruckte Ressource
  18. Detailansicht für Treffer 18 öffnen
    Growth and characterisation of semiconductors: papers contributing to a short course organised by the Departments of Materials and Physics with the Continuing Education Centre at Imperial College, in association with ..
    ed. by R. A. Stradling ..
    Repr. with corr.. - Bristol [u.a.]: Hilger, 1991
    Konferenzschrift, Sammelwerk, Gedruckte Ressource
  19. Detailansicht für Treffer 19 öffnen
    Integrated circuit fabrication technology
    by David J. Elliott
    New York [u.a.]: McGraw-Hill, 1982
    Monographie, Gedruckte Ressource
  20. Detailansicht für Treffer 20 öffnen
    Handbook of semiconductor wafer cleaning technology: science, technology, and applications
    ed. by Werner Kern
    Park Ridge, NJ: Noyes, 1993
    Aufsatzsammlung, Sammelwerk, Gedruckte Ressource

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