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    Handbook of VLSI microlithography: principles, technology and applications
    ed. by William B. Glendinning ..
    repr. ed.. - Westwood, NJ: Noyes, 1991
    Sammelwerk, Gedruckte Ressource
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    Optical microlithographic technology for integrated circuit fabrication and inspection: 2 - 3 April 1987, The Hague, The Netherlands
    Harry L. Stover ..., chairs/eds
    Bellingham, Wash.: SPIE - The Internat. Soc. for Opt. Engineering, 1987
    Konferenzschrift, Sammelwerk, Gedruckte Ressource
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    Lasers in microlithography: 2 - 3 March 1987, Santa Clara, Calif
    Daniel J. Ehrlich, chair/ed
    Bellingham, Wash.: SPIE - The Internat. Soc. for Opt. Engineering, 1987
    Konferenzschrift, Sammelwerk, Gedruckte Ressource
  4. Detailansicht für Treffer 4 öffnen
    Resists in microlithography and printing
    Bohumil Bednář, Jaroslav Králíček, and Jaromír Zachoval
    2., rev. engl. ed.. - Amsterdam [u.a.]: Elsevier, 1993
    Monographie, Gedruckte Ressource
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    Microlithography: process technology for IC fabrication
    Elliott, David J.
    New York [u.a.]: McGraw-Hill, 1986
    Monographie, Gedruckte Ressource
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    Laser microfabrication: thin film processes and lithography
    ed. by Daniel J. Ehrlich ..
    1. [Dr.]. - Boston [u.a.]: Acad. Pr, [19]89
    Sammelwerk, Gedruckte Ressource
  7. Detailansicht für Treffer 7 öffnen
    Methods and materials in microelectronic technology: [proceedings of the International Symposium on Methods and Materials in Microelectronic Technology, held September 29 - October 1, 1982, in Bad Neuenahr, Federal Republic of Germany]
    ed. by Joachim Bargon
    New York [u.a.]: Plenum Press, 1984
    Konferenzschrift, Sammelwerk, Gedruckte Ressource
  8. Detailansicht für Treffer 8 öffnen
    Semiconductor lithography: principles, practices, and materials
    Wayne M. Moreau
    3. print.. - New York [u.a.]: Plenum Press, 1991
    Monographie, Gedruckte Ressource

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