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    Laser microfabrication: thin film processes and lithography
    ed. by Daniel J. Ehrlich ..
    1. [Dr.]. - Boston [u.a.]: Acad. Pr, [19]89
    Sammelwerk, Gedruckte Ressource
  2. Detailansicht für Treffer 2 öffnen
    Laser diagnostics and photochemical processing for semiconductor devices: symposium held November 1982 in Boston, Massachusetts, USA
    ed.: R. M. Osgood ..
    New York [u.a.]: North-Holland, 1983
    Konferenzschrift, Sammelwerk, Gedruckte Ressource
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    Laser assisted microtechnology
    Simeon M. Metev ; Vadim P. Veiko
    2., updated ed.. - Berlin [u.a.]: Springer, 1998
    Monographie, Gedruckte Ressource

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