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    Microlithography: science and technology
    ed. by James R. Sheats ..
    New York [u.a.]: Dekker, 1998
    Sammelwerk, Gedruckte Ressource
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    Optical, laser microlithography, 3. 7 - 9 March 1990, San Jose, California
    SPIE, the International Society for Optical Engineering
    Bellingham, Wash.: SPIE, 1990
    Konferenzschrift, Monographie, Teil eines Werkes, keine Angabe
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    Electron beam, x-ray, and ion beam submicrometer lithographies for manufacturing, 9. 7 - 8 March 1990, San Jose, California
    SPIE, The International Society for Optical Engineering
    Bellingham, Wash., 1990
    Konferenzschrift, Monographie, Teil eines Werkes, keine Angabe
  4. Detailansicht für Treffer 4 öffnen
    Handbook of VLSI microlithography: principles, technology and applications
    ed. by William B. Glendinning ..
    repr. ed.. - Westwood, NJ: Noyes, 1991
    Sammelwerk, Gedruckte Ressource
  5. Detailansicht für Treffer 5 öffnen
    Handbook of microlithography, micromachining, and microfabrication
    The Institution of Electrical Engineers. P. Rai-Choudhury, ed
    Bellingham, Wash.: SPIE Optical Engineering Press [u.a.], 1997-
    Schriftenreihe, Sammelwerk, Gedruckte Ressource
  6. Detailansicht für Treffer 6 öffnen
    Proceedings of the International Conference on Microlithography: September 17 - 19, 1991, Rome, Italy
    ed. by A. Tucciarone ..
    Amsterdam [u.a.]: Elsevier, 1992
    Konferenzschrift, Sammelwerk, Gedruckte Ressource
  7. Detailansicht für Treffer 7 öffnen
    Proceedings of the International Conference on Microlithography: September 18 - 20, 1990, Leuven, Belgium
    ed. by G. Declerck ..
    Amsterdam [u.a.]: Elsevier, 1991
    Konferenzschrift, Sammelwerk, Gedruckte Ressource
  8. Detailansicht für Treffer 8 öffnen
    Lithography process control
    Harry J. Levinson
    Bellingham, Wash.: SPIE Optical Engineering Press, 1999
    Monographie, Gedruckte Ressource

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