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    Handbook of semiconductor silicon technology
    ed. by William C. O'Mara ..
    Park Ridge, NJ: Noyes, 1990
    Sammelwerk, Gedruckte Ressource
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    Impurity doping processes in silicon
    ed. by F. F. Y. Wang
    Amsterdam [u.a.]: North-Holland Publ. Co, 1981
    Aufsatzsammlung, Sammelwerk, Gedruckte Ressource
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    Silicon VLSI technology: fundamentals, practice and modeling
    James D. Plummer ; Michael Deal ; Peter B. Griffin
    Upper Saddle River, NJ [u.a.]: Prentice Hall, 2000
    Monographie, Gedruckte Ressource

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