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    Crucial issues in semiconductor materials and processing technologies: [proceedings of the NATO Advanced Study Institute on Semiconductor Materials and Processing Technologies, Erice, Italy, 1 - 13 July 1991]
    ed. by S. Coffa ..
    Dordrecht [u.a.]: Kluwer Acad. Publ, 1992
    Konferenzschrift, Aufsatzsammlung, Sammelwerk, Gedruckte Ressource
  2. Detailansicht für Treffer 2 öffnen
    Handbook of microelectronics packaging and interconnection technologies
    ed. by F. N. Sinnadurai
    Ayr, Scotland: Electrochemical Publ, 1985
    Sammelwerk, Gedruckte Ressource
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    Advances in rapid thermal and integrated processing: [proceedings of the NATO Advanced Study Institute on Advances in Rapid Thermal and Integrated Processing, Acquafredda di Maratea, Italy, July 3 - 14, 1995]
    ed. by Fred Roozeboom
    Dordrecht [u.a.]: Kluwer Acad. Publ, 1996
    Konferenzschrift, Sammelwerk, Gedruckte Ressource
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    Physical and technical problems of SOI structures and devices: [Proceedings of the NATO Advanced Research Workshop on Physical and Technical Problems of SOI Structures and Devices, Gurzuf, Ukraine, Nov. 1 - 4, 1994]
    ed. by J.P. Colinge ..
    Dordrecht [u.a.]: Kluwer, 1995
    Konferenzschrift, Sammelwerk, Gedruckte Ressource
  5. Detailansicht für Treffer 5 öffnen
    Nanolithography: a borderland between STM, EB, IB, and X-ray lithographies: [proceedings of the NATO Advanced Research Workshop on Nanolithography : A Boderland Between STM, EB, IB, and X-Ray Lithographies, Frascati, Roma, Italy, April 6 - 8, 1993]
    ed. by M. Gentili ..
    Dordrecht [u.a.]: Kluwer, 1994
    Konferenzschrift, Sammelwerk, Gedruckte Ressource
  6. Detailansicht für Treffer 6 öffnen
    Reduced thermal processing for ULSI: [proceedings of a NATO Advanced Study Institute on Reduced Thermal Processing for ULSI, held June 20 - July 1, 1988, in Boca Raton, Florida]
    ed. by Roland A. Levy
    New York [u.a.]: Plenum Pr, 1989
    Konferenzschrift, Sammelwerk, Gedruckte Ressource
  7. Detailansicht für Treffer 7 öffnen
    Prozesstechnologie: Fertigungsverfahren für integrierte MOS-Schaltungen
    G. Schumicki ..
    Berlin [u.a.]: Springer, 1991
    Sammelwerk, Gedruckte Ressource
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    The proceedings of the 10th Frontier Academic Forum of Electrical Engineering (FAFEE2022): Volume I
    edited by Qingxin Yang, Xuzhu Dong, Weiming Ma
    1st ed. 2023. - Singapore: Springer Nature Singapore, Imprint: Springer, 2023
    Online Sammelwerk, Elektronische Ressource
    Zugriff:
    Springer Energy 2023 (Volltext)
    Volltext
  9. Detailansicht für Treffer 9 öffnen
    Maskentechnik für Mikroelektronik-Bausteine, [2]. München, 14. November 1985: Tagung
    [... Fachtagung Maskentechnik für Mikroelektronik-Bausteine]. VDI/VDE-Ges. Feinwerktechnik
    Düsseldorf: VDI-Verl, 1985
    Monographie, Teil eines Werkes, Gedruckte Ressource
  10. Detailansicht für Treffer 10 öffnen
    Microlithography: science and technology
    ed. by James R. Sheats ..
    New York [u.a.]: Dekker, 1998
    Sammelwerk, Gedruckte Ressource
  11. Detailansicht für Treffer 11 öffnen
    Frontiers in electronic materials and processing: Houston, Texas, November 1985
    ed.: L. J. Brillson
    New York, NY, 1986
    Konferenzschrift, Sammelwerk, Gedruckte Ressource
  12. Detailansicht für Treffer 12 öffnen
    Optical, laser microlithography, 3. 7 - 9 March 1990, San Jose, California
    SPIE, the International Society for Optical Engineering
    Bellingham, Wash.: SPIE, 1990
    Konferenzschrift, Monographie, Teil eines Werkes, keine Angabe
  13. Detailansicht für Treffer 13 öffnen
    Maskentechnik für Mikroelektronik-Bausteine, 9. München, 29. Oktober 1992: Tagung
    [... Fachtagung Maskentechnik für Mikroelektronik-Bausteine]. VDI/VDE-Ges. Feinwerktechnik
    [Nichtred. Ms.-Dr.]. - Düsseldorf: VDI-Verl, 1992
    Konferenzschrift, Monographie, Teil eines Werkes, Gedruckte Ressource
  14. Detailansicht für Treffer 14 öffnen
    Wafer fabrication: factory performance and analysis
    Linda F. Atherton ; Robert W. Atherton
    Boston [u.a.]: Kluwer Acad. Publ, 1995
    Monographie, Gedruckte Ressource
  15. Detailansicht für Treffer 15 öffnen
    Integrating reliability into microelectronics manufacturing
    Aris Christou
    Chichester [u.a.]: Wiley, 1994
    Monographie, Gedruckte Ressource
  16. Detailansicht für Treffer 16 öffnen
    Gallium arsenide IC technology: principles and practice
    Sclater, Neil
    1. ed., 1. print.. - Blue Ridge Summit, Pa.: TAB Pofessional and Reference Books, 1988
    Monographie, Gedruckte Ressource
  17. Detailansicht für Treffer 17 öffnen
    Maskentechnik für Mikroelektronik-, Mikrotechnik-Bauteile, [12]. München, 25. und 26. Oktober 1995: Tagung ..
    [VDI/VDE-Gesellschaft Mikro- und Feinwerktechnik]
    [Nicht red. Ms.-Dr.]. - Düsseldorf: VDI-Verl, 1995
    Konferenzschrift, Monographie, Teil eines Werkes, Gedruckte Ressource
  18. Detailansicht für Treffer 18 öffnen
    The science and engineering of microelectronic fabrication
    Stephen A. Campbell
    New York [u.a.]: Oxford University Press, 1996
    Monographie, Gedruckte Ressource
  19. Detailansicht für Treffer 19 öffnen
    Electron beam, x-ray, and ion beam submicrometer lithographies for manufacturing, 9. 7 - 8 March 1990, San Jose, California
    SPIE, The International Society for Optical Engineering
    Bellingham, Wash., 1990
    Konferenzschrift, Monographie, Teil eines Werkes, keine Angabe
  20. Detailansicht für Treffer 20 öffnen
    Maskentechnik für Mikroelektronik-Bausteine, [1]. München, 15. November 1984: Tagung
    [... Fachtagung Maskentechnik für Mikroelektronik-Bausteine]. VDI/VDE-Ges. Feinwerktechnik
    Düsseldorf: VDI-Verl, 1985
    Monographie, Teil eines Werkes, Gedruckte Ressource

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