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    Stabilität piezoresistiver Siliziumsensoren
    Arne Nakladal
    Dresden [u.a.]: Dresden Univ. Press, 1998
    Monographie, Hochschulschrift, Gedruckte Ressource
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    Möglichkeiten und Grenzen der Silizium-Planartechnologie zur Herstellung mikromechanischer Sensoren und deren Verkapselung
    Lüder Elbrecht
    Als Ms. gedr.. - Aachen: Shaker, 1998
    Monographie, Hochschulschrift, Gedruckte Ressource
  3. Detailansicht für Treffer 3 öffnen
    The vehicle as mobile sensor in a collaborative network
    Clemens Dannheim
    2015
    Monographie, Hochschulschrift, Gedruckte Ressource
  4. Detailansicht für Treffer 4 öffnen
    Compensation and calibration of IC microsensors
    presented by Andreas Martin Häberli
    [Mikrofiche-Ausg.]. - 1997
    Monographie, Hochschulschrift, Mikroform

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