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    Reine Technologien - aktuelle Fragen der Reinraumtechnik: Stand der Technik, Anwendungen, technische Regeln ; Tagung Karlsruhe, 7. und 8. Februar 1996
    VDI-Gesellschaft Technische Gebäudeausrüstung
    Düsseldorf: VDI-Verl, 1996
    Monographie, Konferenzschrift, Gedruckte Ressource
  2. Detailansicht für Treffer 2 öffnen
    Untersuchungen von Reinheitssystemen zur Herstellung von Halbleiterprodukten
    Jochen Schließer
    Berlin [u.a.]: Springer, 1999
    Monographie, Gedruckte Ressource
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    Handbuch der Reinraum-Praxis: Reinraumtechnologie und Human-Ressourcen
    Günter Hauptmann ; Rolf Hohmann (Hrsg.)
    Landsberg: ecomed, 1992-
    Sonstiges, Schriftenreihe, Sammelwerk, Gedruckte Ressource
  4. Detailansicht für Treffer 4 öffnen
    Reinraumtechnik '97: Qualifizierung und Überwachung ; Reinraum und Reinstmedien ; Tagung Fulda, 15. und 16. September 1997
    VDI-Gesellschaft Technische Gebäudeausrüstung
    Nichtred. Ms.-Dr.. - Düsseldorf: VDI-Verl, 1997
    Monographie, Konferenzschrift, Gedruckte Ressource
  5. Detailansicht für Treffer 5 öffnen
    Reinraumtechnik '99: molekulare Kontamination, Qualifizierung und Messtechnik, Systemoptimierung ; Tagung Nürnberg, 23. und 24. September 1999
    VDI-Gesellschaft Technische Gebäudeausrüstung
    Nichtred. Ms.-Dr.. - Düsseldorf: VDI-Verl, 1999
    Monographie, Konferenzschrift, Gedruckte Ressource
  6. Detailansicht für Treffer 6 öffnen
    Qualitätssicherung in der Reinraumtechnik: Tagung Stuttgart, 27. und 28. September 1993
    VDI-Gesellschaft Technische Gebäudeausrüstung
    [Nicht red. Ms.-Dr.]. - Düsseldorf: VDI-Verl, 1994
    Monographie, Konferenzschrift, Gedruckte Ressource
  7. Detailansicht für Treffer 7 öffnen
    Reinraumtechnik
    L. Gail ... (Hrsg.)
    Berlin [u.a.]: Springer, 2002
    Sammelwerk, Gedruckte Ressource

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