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    Handbook of ion implantation technology
    ed. by J. F. Ziegler
    Amsterdam [u.a.]: North-Holland, 1992
    Aufsatzsammlung, Sammelwerk, Gedruckte Ressource
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    Patterngeneration fuer Elektronenstrahllithographie mit Kompensationsbelichtung
    Arndt, Norbert
    1984
    Monographie, Hochschulschrift, Gedruckte Ressource
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    Applications of plasma processes to VLSI technology
    ed. by Takuo Sugano
    New York [u.a.]: Wiley, 1985
    Sammelwerk, Gedruckte Ressource
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    Maskentechnik für Mikroelektronik-Bausteine, 6. München, 9. November 1989: Tagung
    [... Fachtagung Maskentechnik für Mikroelektronik-Bausteine]. VDI/VDE-Ges. Feinwerktechnik
    Düsseldorf: VDI-Verl, 1989
    Konferenzschrift, Monographie, Teil eines Werkes, Gedruckte Ressource
  5. Detailansicht für Treffer 5 öffnen
    Methods and materials in microelectronic technology: [proceedings of the International Symposium on Methods and Materials in Microelectronic Technology, held September 29 - October 1, 1982, in Bad Neuenahr, Federal Republic of Germany]
    ed. by Joachim Bargon
    New York [u.a.]: Plenum Press, 1984
    Konferenzschrift, Sammelwerk, Gedruckte Ressource
  6. Detailansicht für Treffer 6 öffnen
    Maskentechnik für Mikroelektronik-Bausteine, 3. München, 13. November 1986: Tagung
    [... Fachtagung Maskentechnik für Mikroelektronik-Bausteine]. VDI/VDE-Ges. Feinwerktechnik
    Düsseldorf: VDI-Verl, 1986
    Monographie, Teil eines Werkes, Gedruckte Ressource
  7. Detailansicht für Treffer 7 öffnen
    Integrated circuit manufacturability: the art of process and design integration
    the Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc., New York. Ed. by José Pineda de Gyvez ..
    Piscataway, NJ: IEEE Press, 1999
    Sammelwerk, Gedruckte Ressource
  8. Detailansicht für Treffer 8 öffnen
    Dickfilmtechnik: eine umfassende Einführung in die Praxis der Dickfilmtechnologie ; mit 11 Tabellen
    Keith E. G. Pitt. [Übertr. aus dem Engl.: Jürgen Park. Techn. Bearb.: Michael Heysinger]
    München: Franzis, 1983
    Monographie, Einführung, Gedruckte Ressource
  9. Detailansicht für Treffer 9 öffnen
    Quick reference manual for silicon integrated circuit technology
    W. E. Beadle ..., ed
    1. [Dr.]. - New York [u.a.]: Wiley, 1985
    Sammelwerk, Gedruckte Ressource
  10. Detailansicht für Treffer 10 öffnen
    The physics and fabrication of microstructures and microdevices: proceedings of the winter school, Les Houches, France, March 25 - April 5, 1986 ; [Winter School on 'The Physics and Fabrication of Microstructures'. Univ. Scientifique et Medicale de Grenoble, Centre de Physique, Les Houches]
    ed.: M. J. Kelly ..
    Berlin [u.a.]: Springer, 1986
    Konferenzschrift, Sammelwerk, Gedruckte Ressource
  11. Detailansicht für Treffer 11 öffnen
    The physics of microfabrication
    Ivor Brodie and Julius J. Muray
    New York [u.a.]: Plenum Press, 1982
    Monographie, Gedruckte Ressource
  12. Detailansicht für Treffer 12 öffnen
    High vacuum production in the microelectronics industry
    Duval, Pierre
    Amsterdam [u.a.]: Elsevier, 1988
    Monographie, Gedruckte Ressource
  13. Detailansicht für Treffer 13 öffnen
    Wafer-level integrated systems: implementation issues
    Tewksbury, Stuart K.
    Boston [u.a.]: Kluwer, 1989
    Monographie, Gedruckte Ressource
  14. Detailansicht für Treffer 14 öffnen
    Microlithography: process technology for IC fabrication
    Elliott, David J.
    New York [u.a.]: McGraw-Hill, 1986
    Monographie, Gedruckte Ressource
  15. Detailansicht für Treffer 15 öffnen
    Maskentechnik für Mikroelektronik-Bausteine, 5. München, 9. November 1988: Tagung
    [... Fachtagung Maskentechnik für Mikroelektronik-Bausteine]. VDI/VDE-Ges. Feinwerktechnik
    Düsseldorf: VDI-Verl, 1988
    Konferenzschrift, Monographie, Teil eines Werkes, Gedruckte Ressource
  16. Detailansicht für Treffer 16 öffnen
    Handbook of microelectronics packaging and interconnection technologies
    ed. by F. N. Sinnadurai
    Ayr, Scotland: Electrochemical Publ, 1985
    Sammelwerk, Gedruckte Ressource
  17. Detailansicht für Treffer 17 öffnen
    Multigrid methods for process simulation
    W. Joppich and S. Mijalković
    Wien, New York: Springer, 1993
    Monographie, Gedruckte Ressource
  18. Detailansicht für Treffer 18 öffnen
    Semiconductor silicon crystal technology
    Shimura, Fumio
    2. [Dr.]. - San Diego [u.a.].: Acad. Pr, 1989
    Monographie, Gedruckte Ressource
  19. Detailansicht für Treffer 19 öffnen
    Novel silicon based technologies: [proceedings of the NATO Advanced Study Institute on Novel Silicon Based Technologies, Boca Raton, Florida, USA, 17 - 28 July, 1989]
    ed. by R. A. Levy
    Dordrecht [u.a.]: Kluwer Acad. Publ, 1991
    Konferenzschrift, Aufsatzsammlung, Sammelwerk, Gedruckte Ressource
  20. Detailansicht für Treffer 20 öffnen
    Deposition and growth: limits for microelectronics: [Topical Conference on Deposition and Growth: Limits for Microelectronics was held ... in Anaheim, Calif. on November 3 - 5, 1987 ...]
    ed.: G. W. Rubloff
    New York, 1988
    Konferenzschrift, Sammelwerk, Gedruckte Ressource

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