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    Physical and technical problems of SOI structures and devices: [Proceedings of the NATO Advanced Research Workshop on Physical and Technical Problems of SOI Structures and Devices, Gurzuf, Ukraine, Nov. 1 - 4, 1994]
    ed. by J.P. Colinge ..
    Dordrecht [u.a.]: Kluwer, 1995
    Konferenzschrift, Sammelwerk, Gedruckte Ressource
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    Laserrekristallisation von Silizium: Integration von CMOS-Schaltungen auf isolierendem Substrat
    Hilleringmann, Ulrich
    Als Ms. gedr.. - Düsseldorf: VDI-Verl, 1988
    Monographie, Gedruckte Ressource
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    Silicon on insulator technology: materials to VLSI
    by Jean-Pierre Colinge
    Boston [u.a.]: Kluwer Acad. Publ, 1991
    Monographie, Gedruckte Ressource
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    Comparison of thin film transistor and SOI technologies: symposium held Feb. 1984 in Albuquerque, NM, USA
    Lam, H. W.
    New York: North-Holland Publ, 1984
    Konferenzschrift, Sammelwerk, Gedruckte Ressource
  5. Detailansicht für Treffer 5 öffnen
    Transmission electron microscopy of silicon VLSI circuits and structures
    R. B. Marcus and T. T. Sheng
    New York [u.a.]: Wiley, 1983
    Monographie, Gedruckte Ressource
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    The physics of micro-, nano-fabrication
    Ivor Brodie and Julius J. Muray
    New York [u.a.]: Plenum Press, 1992
    Monographie, Gedruckte Ressource
  7. Detailansicht für Treffer 7 öffnen
    Lithography process control
    Harry J. Levinson
    Bellingham, Wash.: SPIE Optical Engineering Press, 1999
    Monographie, Gedruckte Ressource
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    Materials handbook for hybrid microelectronics
    Joseph Alison King (Ed.) ..
    1. [Dr.]. - Boston [u.a.]: Artech House, 1988
    Sammelwerk, Gedruckte Ressource
  9. Detailansicht für Treffer 9 öffnen
    Lasers in microlithography: 2 - 3 March 1987, Santa Clara, Calif
    Daniel J. Ehrlich, chair/ed
    Bellingham, Wash.: SPIE - The Internat. Soc. for Opt. Engineering, 1987
    Konferenzschrift, Sammelwerk, Gedruckte Ressource
  10. Detailansicht für Treffer 10 öffnen
    VLSI metallization: physics and technologies
    Krishna Shenai, ed
    Boston [u.a.]: Artech House, 1991
    Aufsatzsammlung, Sammelwerk, Gedruckte Ressource
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    Polymers in microelectronics: fundamentals and applications
    David S. Soane and Zoya Martynenko
    Amsterdam [u.a.]: Elsevier, 1989
    Monographie, Gedruckte Ressource
  12. Detailansicht für Treffer 12 öffnen
    Polymers for microelectronics: science and technology ; proceedings of the International Symposium on "Polymers for Microelectronics - Science and Technology -" (PME '89), Tokyo, Japan, October 29 to November 2, 1989
    ed. by Yoneho Tabata ..
    Tokyo: Kodansha [u.a.], 1990
    Konferenzschrift, Sammelwerk, Gedruckte Ressource
  13. Detailansicht für Treffer 13 öffnen
    Optimierung von III-V-Halbleitern auf Si für einen optoelektronischen Empfänger
    Arne Bartels
    Als Ms. gedr.. - Düsseldorf: VDI-Verl, 1996
    Monographie, Hochschulschrift, Gedruckte Ressource
  14. Detailansicht für Treffer 14 öffnen
    Focused ion beams from liquid metal ion sources
    P. D. Prewett and G. L. R. Mair
    Taunton: Research Studies Pr. [u.a.], 1991
    Monographie, Gedruckte Ressource
  15. Detailansicht für Treffer 15 öffnen
    Polycrystalline silicon for integrated circuit applications
    Ted Kamins
    Boston [u.a.]: Kluwer Academic Publ, 1988
    Monographie, Gedruckte Ressource
  16. Detailansicht für Treffer 16 öffnen
    Photoreactive polymers: the science and technology of resists
    Arnost Reiser
    New York [u.a.]: Wiley, 1989
    Monographie, Gedruckte Ressource
  17. Detailansicht für Treffer 17 öffnen
    Metal impurities in silicon device fabrication
    Klaus Graff
    Berlin [u.a.]: Springer, 1995
    Monographie, Gedruckte Ressource
  18. Detailansicht für Treffer 18 öffnen
    Montage integrierter Schaltungen
    Hacke, Hans-Jürgen
    Berlin [u.a.]: Springer, 1987
    Monographie, Gedruckte Ressource
  19. Detailansicht für Treffer 19 öffnen
    Prozesstechnologie: Fertigungsverfahren für integrierte MOS-Schaltungen
    G. Schumicki ..
    Berlin [u.a.]: Springer, 1991
    Sammelwerk, Gedruckte Ressource
  20. Detailansicht für Treffer 20 öffnen
    Semiconductor lithography: principles, practices, and materials
    Wayne M. Moreau
    3. print.. - New York [u.a.]: Plenum Press, 1991
    Monographie, Gedruckte Ressource

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