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    Lasers in microlithography: 2 - 3 March 1987, Santa Clara, Calif
    Daniel J. Ehrlich, chair/ed
    Bellingham, Wash.: SPIE - The Internat. Soc. for Opt. Engineering, 1987
    Konferenzschrift, Sammelwerk, Gedruckte Ressource
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    Emerging technologies for in situ processing: [proceedings of the NATO Advanced Research Workshop on Emerging Technologies for In Situ Processing, Cargèse, France, May 4 - 8, 1987]
    ed. by Daniel J. Ehrlich ..
    Dordrecht [u.a.]: Nijhoff, 1988
    Konferenzschrift, Sammelwerk, Gedruckte Ressource
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    Laser microfabrication: thin film processes and lithography
    ed. by Daniel J. Ehrlich ..
    1. [Dr.]. - Boston [u.a.]: Acad. Pr, [19]89
    Sammelwerk, Gedruckte Ressource

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