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    Mobil mit Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik: Vorträge der GMM-Fachtagung anläßlich des VDE-Kongresses '98 am 21. und 22. Oktober 1998 in Stuttgart
    Veranst.: VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik (GMM). Wiss. Tagungsleitung: Herbert Reichl
    Berlin [u.a.]: VDE-Verl, 1998
    Konferenzschrift, Sammelwerk, Gedruckte Ressource
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    Materials for mechanical and optical microsystems: symposium held December 4 - 5, 1996, Boston, Massachusetts, U.S.A
    ed.: Michael L. Reed ..
    Pittsburgh, Pa.: MRS, Materials Research Soc, 1997
    Konferenzschrift, Sammelwerk, Gedruckte Ressource
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    Micro-system technologies 92: 3rd International Conference on Micro-, Electro-, Opto-, Mechanic Systems and Components, Berlin, October 21 - 23, 1992
    [organized by AMK Berlin, Ausstellungs-Messe-Kongress-GmbH ...] Herbert Reichl (ed.)
    Berlin [u.a.]: vde-Verl, 1992
    Konferenzschrift, Sammelwerk, Gedruckte Ressource
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    An introduction to microelectromechanical systems engineering
    Nadim Maluf
    Boston [u.a.]: Artech House, 2000
    Monographie, Gedruckte Ressource
  5. Detailansicht für Treffer 5 öffnen
    Microsensors
    ed. by Richard S. Muller ..
    New York: IEEE Pr, 1991
    Sammelwerk, Gedruckte Ressource

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