Silicon nitride for microelectronic applications, 1. Preparation and properties
New York [u.a.]: IFI/Plenum, 1971
Monographie, Teil eines Werkes, Gedruckte Ressource
- VIII, 118 S. : zahlr. graph. Darst.
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Titel: |
Silicon nitride for microelectronic applications, 1. Preparation and properties
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Verantwortlichkeitsangabe: | John T. Milek |
Autor/in / Beteiligte Person: | Milek, John T. |
Verwandtes Werk: | |
Veröffentlichung: | New York [u.a.]: IFI/Plenum, 1971 |
Medientyp: | Monographie, Teil eines Werkes |
Datenträgertyp: | Gedruckte Ressource |
Umfang: | VIII, 118 S. : zahlr. graph. Darst. |
ISBN: | 0306671034 |
Schlagwort: |
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Sonstiges: |
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