Sputtering by particle bombardment, 1. Physical sputtering of single-element solids / ED. BY R. BEHRISCH. WITH CONTRIB. BY H. H. ANDERSEN
Berlin [u.a.]: Springer, 1981
Sammelwerk, Teil eines Werkes, keine Angabe
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Titel: |
Sputtering by particle bombardment, 1. Physical sputtering of single-element solids / ED. BY R. BEHRISCH. WITH CONTRIB. BY H. H. ANDERSEN
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Autor/in / Beteiligte Person: | Behrisch, Rainer |
Verwandtes Werk: | |
Veröffentlichung: | Berlin [u.a.]: Springer, 1981 |
Medientyp: | Sammelwerk, Teil eines Werkes |
Datenträgertyp: | keine Angabe |
Sonstiges: |
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