Methods and materials in microelectronic technology: [proceedings of the International Symposium on Methods and Materials in Microelectronic Technology, held September 29 - October 1, 1982, in Bad Neuenahr, Federal Republic of Germany]

ed. by Joachim Bargon

New York [u.a.]: Plenum Press, 1984

Konferenzschrift, Sammelwerk, Gedruckte Ressource - VIII, 367 S. : Ill.

Titel:	Methods and materials in microelectronic technology: [proceedings of the International Symposium on Methods and Materials in Microelectronic Technology, held September 29 - October 1, 1982, in Bad Neuenahr, Federal Republic of Germany]
Verantwortlichkeitsangabe:	ed. by Joachim Bargon
Autor/in / Beteiligte Person:	Bargon, Joachim (1939-)
Körperschaft:	International Symposium on Methods and Materials in Microelectronic Technology
Link:	Inhaltsverzeichnis
Verwandtes Werk:	The IBM research symposium series
Veröffentlichung:	New York [u.a.]: Plenum Press, 1984
Medientyp:	Konferenzschrift, Sammelwerk
Datenträgertyp:	Gedruckte Ressource
Umfang:	VIII, 367 S. : Ill.
ISBN:	0306418037
Schlagwort:	Halbleitertechnologie Integrierte Schaltung Technologie Technik Ion Lithografie Röntgenlithografie Fotolithografie (Halbleitertechnologie) VLSI Mikroelektronik
Sonstiges:	Gesamttitelangabe: The IBM research symposium series Konferenzschrift: Neuenahr-Ahrweiler, 1982 Lokale Notationen: YET Fächer: Elektrotechnik RVK: ZN 4950 Schaltungen der Grossintegration (LSI); SS 1982 Veranstaltungsjahr 1982 hbz Verbund-ID: HT002566797

Klicken Sie ein Format an und speichern Sie dann die Daten oder geben Sie eine Empfänger-Adresse ein und lassen Sie sich per Email zusenden.

BibTeX Citavi, JabRef, u.a.
(Literaturverwaltung)

PDF kein Volltext!
(Merkzettel, Notizen)

RIS Endnote, Citavi u.a.
(Literaturverwaltung)

MODS
(XML zur Weiterverarbeitung)

oder

Wählen Sie das für Sie passende Zitationsformat und kopieren Sie es dann in die Zwischenablage, lassen es sich per Mail zusenden oder speichern es als PDF-Datei.

Gewünschter Zitations-Stil:

oder

Bitte prüfen Sie, ob die Zitation formal korrekt ist, bevor Sie sie in einer Arbeit verwenden. Benutzen Sie gegebenenfalls den "Exportieren"-Dialog, wenn Sie ein Literaturverwaltungsprogramm verwenden und die Zitat-Angaben selbst formatieren wollen.