The physics of microfabrication

Ivor Brodie and Julius J. Muray

New York [u.a.]: Plenum Press, 1982

Monographie, Gedruckte Ressource - XIX, 503 S. : Ill., graph. Darst.

Titel:	The physics of microfabrication
Verantwortlichkeitsangabe:	Ivor Brodie and Julius J. Muray
Autor/in / Beteiligte Person:	Brodie, Ivor ; Muray, Julius J. (1931-1991)
Veröffentlichung:	New York [u.a.]: Plenum Press, 1982
Medientyp:	Monographie
Datenträgertyp:	Gedruckte Ressource
Umfang:	XIX, 503 S. : Ill., graph. Darst.
ISBN:	0306408635
Schlagwort:	Integrierte Schaltung Technologie Mikroelektronik
Sonstiges:	Lokale Notationen: YET Fächer: Elektrotechnik hbz Verbund-ID: HT002648853

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