Halbleiterprüfung: Licht- und Rasterelektronenmikroskopie ; mit 12 Tabellen

Wolfgang Schäfer ; Georg Terlecki

Heidelberg: Hüthig, 1986

Monographie, Gedruckte Ressource - 259 S. : Ill., graph. Darst.

Titel:	Halbleiterprüfung: Licht- und Rasterelektronenmikroskopie ; mit 12 Tabellen
Verantwortlichkeitsangabe:	Wolfgang Schäfer ; Georg Terlecki
Autor/in / Beteiligte Person:	Schaefer, Wolfgang ; Terlecki, Georg
Veröffentlichung:	Heidelberg: Hüthig, 1986
Medientyp:	Monographie
Datenträgertyp:	Gedruckte Ressource
Umfang:	259 S. : Ill., graph. Darst.
ISBN:	377851007X geb. : DM 96.00
Schlagwort:	Halbleiter Prüftechnik
Sonstiges:	Lokale Notationen: XWZ; Wgp65; Wgs5 Fächer: Elektrotechnik RVK: ZN 4030 Prüfverfahren in der Technischen Elektronik allgemein; Fehlererkennungsschaltungen; Test elektronischer Schaltungen und Bauelemente; ZN 4800 Allgemeines; UH 6700 Instrumentelle Optik und Physik optischer Instrumente insgesamt, Allgemeines hbz Verbund-ID: HT002879816

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