Spectroscopic characterization techniques for semiconductor technology, 2. Jan. 21 - 22, 1985, Los Angeles, Calif: conference

SPIE, The International Society for Optical Engineering

Bellingham, Wash.: SPIE, 1985

Konferenzschrift, Monographie, Teil eines Werkes, keine Angabe - VI, 169 S. : Ill., graph. Darst.

Titel:	Spectroscopic characterization techniques for semiconductor technology, 2. Jan. 21 - 22, 1985, Los Angeles, Calif: conference
Körperschaft:	SPIE, The International Society for Optical Engineering
Verwandtes Werk:	Proceedings / SPIE, the International Society for Optical Engineering — Weitere Bände Spectroscopic characterization techniques for semiconductor technology — Weitere Bände
Veröffentlichung:	Bellingham, Wash.: SPIE, 1985
Medientyp:	Konferenzschrift, Monographie, Teil eines Werkes
Datenträgertyp:	keine Angabe
Umfang:	VI, 169 S. : Ill., graph. Darst.
ISBN:	0892525592
Schlagwort:	Spektroskopie Halbleitertechnologie
Sonstiges:	Gesamttitelangabe: Proceedings / SPIE, the International Society for Optical Engineering ; 524 Konferenzschrift: Cambridge, Mass., 1983 Lokale Notationen: XWZ Fächer: Elektrotechnik hbz Verbund-ID: HT003092100

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