X-Ray lithography and applications of soft X-Rays to technology: Oct. 19.- 20. 1983 Upton, New York
Bellingham, Wash.: SPIE - the Internat. Soc. for Opt. Engineering, 1983
Sammelwerk, Gedruckte Ressource
- VI, 140 S. : Ill., graph. Darst., Tab.
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Titel: |
X-Ray lithography and applications of soft X-Rays to technology: Oct. 19.- 20. 1983 Upton, New York
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Verantwortlichkeitsangabe: | Cosponsors: National Synchrotron Light Source ... Alan D. Wilson, chairman/ed |
Autor/in / Beteiligte Person: | Wilson, Alan D. |
Körperschaft: | National Synchrotron Light Source, Long Island, NY |
Verwandtes Werk: | |
Veröffentlichung: | Bellingham, Wash.: SPIE - the Internat. Soc. for Opt. Engineering, 1983 |
Medientyp: | Sammelwerk |
Datenträgertyp: | Gedruckte Ressource |
Umfang: | VI, 140 S. : Ill., graph. Darst., Tab. |
ISBN: | 0892524839 |
Sonstiges: |
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