Optical microlithographic technology for integrated circuit fabrication and inspection: 2 - 3 April 1987, The Hague, The Netherlands
Bellingham, Wash.: SPIE - The Internat. Soc. for Opt. Engineering, 1987
Konferenzschrift, Sammelwerk, Gedruckte Ressource
- X, 211 S. : Ill., graph. Darst., Tab.
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Titel: |
Optical microlithographic technology for integrated circuit fabrication and inspection: 2 - 3 April 1987, The Hague, The Netherlands
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Verantwortlichkeitsangabe: | Harry L. Stover ..., chairs/eds |
Autor/in / Beteiligte Person: | Stover, Harry L. |
Link: | |
Verwandtes Werk: | |
Veröffentlichung: | Bellingham, Wash.: SPIE - The Internat. Soc. for Opt. Engineering, 1987 |
Medientyp: | Konferenzschrift, Sammelwerk |
Datenträgertyp: | Gedruckte Ressource |
Umfang: | X, 211 S. : Ill., graph. Darst., Tab. |
ISBN: | 089252846X |
Schlagwort: |
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Sonstiges: |
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