Laserrekristallisation von Silizium: Integration von CMOS-Schaltungen auf isolierendem Substrat
Als Ms. gedr.. - Düsseldorf: VDI-Verl, 1988
Monographie, Gedruckte Ressource
- 147 S. : Ill., graph. Darst.
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Titel: |
Laserrekristallisation von Silizium: Integration von CMOS-Schaltungen auf isolierendem Substrat
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Autor/in / Beteiligte Person: | Hilleringmann, Ulrich |
Verwandtes Werk: | |
Ausgabe: | Als Ms. gedr. |
Veröffentlichung: | Düsseldorf: VDI-Verl, 1988 |
Medientyp: | Monographie |
Datenträgertyp: | Gedruckte Ressource |
Umfang: | 147 S. : Ill., graph. Darst. |
ISBN: | 3181482099 |
Schlagwort: |
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Sonstiges: |
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