Plasma etching: an introduction
1. [Dr.]. - Boston [u.a.]: Acad. Press, 1989
Sammelwerk, Gedruckte Ressource
- XII, 476 S. : Ill., graph. Darst.
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Titel: |
Plasma etching: an introduction
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Verantwortlichkeitsangabe: | ed. by Dennis M. Manos .. |
Autor/in / Beteiligte Person: | Manos, Dennis M. |
Verwandtes Werk: | |
Ausgabe: | 1. [Dr.] |
Veröffentlichung: | Boston [u.a.]: Acad. Press, 1989 |
Medientyp: | Sammelwerk |
Datenträgertyp: | Gedruckte Ressource |
Umfang: | XII, 476 S. : Ill., graph. Darst. |
ISBN: | 0124693709 |
Schlagwort: |
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Sonstiges: |
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