Novel silicon based technologies: [proceedings of the NATO Advanced Study Institute on Novel Silicon Based Technologies, Boca Raton, Florida, USA, 17 - 28 July, 1989]

ed. by R. A. Levy

Dordrecht [u.a.]: Kluwer Acad. Publ, 1991

Konferenzschrift, Aufsatzsammlung, Sammelwerk, Gedruckte Ressource - XII, 277 S. : zahlr. Ill. u. graph. Darst.

Titel:	Novel silicon based technologies: [proceedings of the NATO Advanced Study Institute on Novel Silicon Based Technologies, Boca Raton, Florida, USA, 17 - 28 July, 1989]
Verantwortlichkeitsangabe:	ed. by R. A. Levy
Autor/in / Beteiligte Person:	Levy, Roland A.
Körperschaft:	Advanced Study Institute on Novel Silicon Based Technologies
Link:	Inhaltsverzeichnis
Verwandtes Werk:	NATO ASI series : Series E — Weitere Bände
Veröffentlichung:	Dordrecht [u.a.]: Kluwer Acad. Publ, 1991
Medientyp:	Konferenzschrift, Aufsatzsammlung, Sammelwerk
Datenträgertyp:	Gedruckte Ressource
Umfang:	XII, 277 S. : zahlr. Ill. u. graph. Darst.
ISBN:	0792311124
Schlagwort:	Siliciumbauelement Mikroelektronik Silicium Mikromechanik
Sonstiges:	Gesamttitelangabe: NATO ASI series : Series E ; 193 Konferenzschrift: Boca Raton, Fla., 1989 Lokale Notationen: YET Fächer: Elektrotechnik RVK: UP 3100 Halbleitermaterialien, Allgemeines hbz Verbund-ID: HT003826328

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