The role of microscopy in semiconductor failure analysis

B. P. Richards and P. K. Footner

Oxford: Oxford Univ. Press [u.a.], 1992

Monographie, Gedruckte Ressource - VI, 108 S. : zahlr. Ill. u. graph. Darst.

Titel:	The role of microscopy in semiconductor failure analysis
Verantwortlichkeitsangabe:	B. P. Richards and P. K. Footner
Autor/in / Beteiligte Person:	Richards, B. P. ; Footner, P. K.
Verwandtes Werk:	Microscopy handbooks — Weitere Bände
Veröffentlichung:	Oxford: Oxford Univ. Press [u.a.], 1992
Medientyp:	Monographie
Datenträgertyp:	Gedruckte Ressource
Umfang:	VI, 108 S. : zahlr. Ill. u. graph. Darst.
ISBN:	0198564325 kart. : £ 13.95
Schlagwort:	Halbleiterbauelement Fehleranalyse Mikroskopie Fehlererkennung Halbleiter
Sonstiges:	Gesamttitelangabe: Microscopy handbooks ; 25 Lokale Notationen: XWZ Fächer: Elektrotechnik RVK: UH 6700 Instrumentelle Optik und Physik optischer Instrumente insgesamt, Allgemeines hbz Verbund-ID: HT004452607

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