Optical, laser microlithography, 3. 7 - 9 March 1990, San Jose, California

SPIE, the International Society for Optical Engineering

Bellingham, Wash.: SPIE, 1990

Konferenzschrift, Monographie, Teil eines Werkes, keine Angabe - X, 586 S. : Ill., graph. Darst.

Titel:	Optical, laser microlithography, 3. 7 - 9 March 1990, San Jose, California
Verantwortlichkeitsangabe:	SPIE, the International Society for Optical Engineering
Körperschaft:	SPIE, The International Society for Optical Engineering
Verwandtes Werk:	Proceedings / SPIE, the International Society for Optical Engineering — Weitere Bände Optical, laser microlithography — Weitere Bände
Veröffentlichung:	Bellingham, Wash.: SPIE, 1990
Medientyp:	Konferenzschrift, Monographie, Teil eines Werkes
Datenträgertyp:	keine Angabe
Umfang:	X, 586 S. : Ill., graph. Darst.
ISBN:	0819403113
Schlagwort:	Lithografie (Halbleitertechnologie) Fotolithografie (Halbleitertechnologie)
Sonstiges:	Gesamttitelangabe: Proceedings / SPIE, the International Society for Optical Engineering ; 1264 Konferenzschrift: San Jose, Calif., 1990 Lokale Notationen: YET Fächer: Elektrotechnik hbz Verbund-ID: HT005029596

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