Plasma properties, deposition and etching
Aedermannsdorf [u.a.]: Trans Tech Publ, 1993
Aufsatzsammlung, Sammelwerk, Gedruckte Ressource
- X, 742 S. : Ill., graph. Darst.
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Titel: |
Plasma properties, deposition and etching
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Verantwortlichkeitsangabe: | ed. J. J. Pouch .. |
Autor/in / Beteiligte Person: | Pouch, John J. |
Link: | |
Verwandtes Werk: | |
Veröffentlichung: | Aedermannsdorf [u.a.]: Trans Tech Publ, 1993 |
Medientyp: | Aufsatzsammlung, Sammelwerk |
Datenträgertyp: | Gedruckte Ressource |
Umfang: | X, 742 S. : Ill., graph. Darst. |
ISBN: | 087849670X |
Schlagwort: |
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Sonstiges: |
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