Vakuumbeschichtung, 3. Anlagenautomatisierung - Meß- und Analysentechnik / Hrsg.: Gerhard Kienel

Frey, Hartmut ; Kienel, Gerhard ; et al.

Düsseldorf: VDI-Verl, 1994

Sammelwerk, Teil eines Werkes, Gedruckte Ressource - XII, 368 S. : Ill., graph. Darst.

Titel:	Vakuumbeschichtung, 3. Anlagenautomatisierung - Meß- und Analysentechnik / Hrsg.: Gerhard Kienel
Autor/in / Beteiligte Person:	Frey, Hartmut ; Kienel, Gerhard ; Döbele, Hans F.
Verwandtes Werk:	Vakuumbeschichtung — Weitere Bände
Veröffentlichung:	Düsseldorf: VDI-Verl, 1994
Medientyp:	Sammelwerk, Teil eines Werkes
Datenträgertyp:	Gedruckte Ressource
Umfang:	XII, 368 S. : Ill., graph. Darst.
ISBN:	3184013138; 9783642635113; 3540622691 (Springer) Pp. : EUR 74.95
Schlagwort:	Dünnschichttechnologie
Sonstiges:	Lokale Notationen: ZLS; Wbp; Wbs Fächer: Ingenieurwissenschaft / Technik hbz Verbund-ID: HT006267169

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