Micro-electro-mechanical systems: proceedings ; an investigation of micro structures, sensors, actuators, machines and robots ; Napa Valley, California, 11 - 14 February 1990

[1990 IEEE Micro Electro Mechanical Systems Workshop]. Sponsored by the IEEE Robotics and Automation Society ..

New York: IEEE, 1990

Monographie, Konferenzschrift, Gedruckte Ressource - XIII, 226 S. : Ill., graph. Darst.

Titel:	Micro-electro-mechanical systems: proceedings ; an investigation of micro structures, sensors, actuators, machines and robots ; Napa Valley, California, 11 - 14 February 1990
Verantwortlichkeitsangabe:	[1990 IEEE Micro Electro Mechanical Systems Workshop]. Sponsored by the IEEE Robotics and Automation Society ..
Körperschaft:	IEEE Robotics and Automation Society ; Micro-Electro-Mechanical Systems Workshop
Veröffentlichung:	New York: IEEE, 1990
Medientyp:	Monographie, Konferenzschrift
Datenträgertyp:	Gedruckte Ressource
Umfang:	XIII, 226 S. : Ill., graph. Darst.
Sonstiges:	Lokale Notationen: ZTP Fächer: Ingenieurwissenschaft / Technik hbz Verbund-ID: HT007135629

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