Handbook of microlithography, micromachining, and microfabrication
Bellingham, Wash.: SPIE Optical Engineering Press [u.a.], 1997-
Schriftenreihe, Sammelwerk, Gedruckte Ressource
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Titel: |
Handbook of microlithography, micromachining, and microfabrication
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Verantwortlichkeitsangabe: | The Institution of Electrical Engineers. P. Rai-Choudhury, ed |
Autor/in / Beteiligte Person: | Rai-Choudhury, Prosenjit |
Körperschaft: | Institution of Electrical Engineers |
Verwandtes Werk: | |
Veröffentlichung: | Bellingham, Wash.: SPIE Optical Engineering Press [u.a.], 1997- |
Medientyp: | Schriftenreihe, Sammelwerk |
Datenträgertyp: | Gedruckte Ressource |
Schlagwort: |
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Sonstiges: |
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