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Analyse der elektrischen Eigenschaften von Versetzungen in Silicium durch elektronenstrahlinduzierte Methoden: Einfluß einer Metalldekoration

vorgelegt von Klaus Knobloch
1997
Monographie, Hochschulschrift, Gedruckte Ressource - I, 82 S. : Ill., graph. Darst.

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Titel:
Analyse der elektrischen Eigenschaften von Versetzungen in Silicium durch elektronenstrahlinduzierte Methoden: Einfluß einer Metalldekoration
Verantwortlichkeitsangabe: vorgelegt von Klaus Knobloch
Autor/in / Beteiligte Person: Knobloch, Klaus
Veröffentlichung: 1997
Medientyp: Monographie, Hochschulschrift
Datenträgertyp: Gedruckte Ressource
Umfang: I, 82 S. : Ill., graph. Darst.
Schlagwort:
  • Silicium
  • Versetzung (Kristallographie)
  • EBIC-Verfahren
  • DLTS
Sonstiges:
  • Cottbus, Brandenburgische Techn. Univ., Diss., 1997
  • Lokale Notationen: UIL; XWT
  • Fächer: Physik; Elektrotechnik
  • hbz Verbund-ID: HT008012996

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