Handbook of microlithography, micromachining, and microfabrication, 2. Micromachining and microfabrication

The Institution of Electrical Engineers. P. Rai-Choudhury, ed

Bellingham, Wash.: SPIE Optical Engineering Press [u.a.], 1997

Sammelwerk, Teil eines Werkes, Gedruckte Ressource - VIII, 692 S. : Ill., graph. Darst.

Titel:	Handbook of microlithography, micromachining, and microfabrication, 2. Micromachining and microfabrication
Verantwortlichkeitsangabe:	The Institution of Electrical Engineers. P. Rai-Choudhury, ed
Autor/in / Beteiligte Person:	Rai-Choudhury, Prosenjit
Körperschaft:	Institution of Electrical Engineers
Verwandtes Werk:	SPIE Press monograph — Weitere Bände IEE materials and devices series — Weitere Bände Handbook of microlithography, micromachining, and microfabrication — Weitere Bände
Veröffentlichung:	Bellingham, Wash.: SPIE Optical Engineering Press [u.a.], 1997
Medientyp:	Sammelwerk, Teil eines Werkes
Datenträgertyp:	Gedruckte Ressource
Umfang:	VIII, 692 S. : Ill., graph. Darst.
ISBN:	0819423793; 0852969112
Sonstiges:	Gesamttitelangabe: SPIE Press monograph ; 40 Gesamttitelangabe: IEE materials and devices series ; 12,B Lokale Notationen: ZTP Fächer: Ingenieurwissenschaft / Technik hbz Verbund-ID: HT008180584

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