Ätzverfahren für die Mikrotechnik
Weinheim [u.a.]: Wiley-VCH, 1998
Monographie, Gedruckte Ressource
- XVI, 398 S. : Ill., graph. Darst.
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Titel: |
Ätzverfahren für die Mikrotechnik
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Verantwortlichkeitsangabe: | Michael Köhler |
Autor/in / Beteiligte Person: | Köhler, Michael |
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Veröffentlichung: | Weinheim [u.a.]: Wiley-VCH, 1998 |
Medientyp: | Monographie |
Datenträgertyp: | Gedruckte Ressource |
Umfang: | XVI, 398 S. : Ill., graph. Darst. |
ISBN: | 3527288694 Gb. : EUR 169.00 |
Schlagwort: |
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Sonstiges: |
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