Möglichkeiten und Grenzen der Silizium-Planartechnologie zur Herstellung mikromechanischer Sensoren und deren Verkapselung
Als Ms. gedr.. - Aachen: Shaker, 1998
Monographie, Hochschulschrift, Gedruckte Ressource
- IV, 231 S. : Ill., graph. Darst.
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Titel: |
Möglichkeiten und Grenzen der Silizium-Planartechnologie zur Herstellung mikromechanischer Sensoren und deren Verkapselung
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Verantwortlichkeitsangabe: | Lüder Elbrecht |
Autor/in / Beteiligte Person: | Elbrecht, Lüder |
Verwandtes Werk: | |
Ausgabe: | Als Ms. gedr. |
Veröffentlichung: | Aachen: Shaker, 1998 |
Medientyp: | Monographie, Hochschulschrift |
Datenträgertyp: | Gedruckte Ressource |
Umfang: | IV, 231 S. : Ill., graph. Darst. |
ISBN: | 3826543033 Pb. : DM 98.00, sfr 99.00, S 689.00 |
Schlagwort: |
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Sonstiges: |
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