Die Rolle der Halbleitertechnik für die Mikroproduktionstechnik
1997
Monographie, Hochschulschrift, Gedruckte Ressource
- 170 S. : Ill., graph. Darst.
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Titel: |
Die Rolle der Halbleitertechnik für die Mikroproduktionstechnik
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Verantwortlichkeitsangabe: | von Klaus-Dieter Banse |
Autor/in / Beteiligte Person: | Banse, Klaus-Dieter |
Veröffentlichung: | 1997 |
Medientyp: | Monographie, Hochschulschrift |
Datenträgertyp: | Gedruckte Ressource |
Umfang: | 170 S. : Ill., graph. Darst. |
Sonstiges: |
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