Plasma etching: fundamentals and applications
Oxford [u.a.]: Oxford Univ. Press, 1998
Sammelwerk, Gedruckte Ressource
- VIII, 347 S. : Ill., graph. Darst.
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Titel: |
Plasma etching: fundamentals and applications
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Verantwortlichkeitsangabe: | M. Sugawara .. |
Autor/in / Beteiligte Person: | Sugawara, Minoru |
Verwandtes Werk: | |
Veröffentlichung: | Oxford [u.a.]: Oxford Univ. Press, 1998 |
Medientyp: | Sammelwerk |
Datenträgertyp: | Gedruckte Ressource |
Umfang: | VIII, 347 S. : Ill., graph. Darst. |
ISBN: | 019856287X |
Schlagwort: |
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Sonstiges: |
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