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Stabilität piezoresistiver Siliziumsensoren

Arne Nakladal
Dresden [u.a.]: Dresden Univ. Press, 1998
Monographie, Hochschulschrift, Gedruckte Ressource - XV, 123 S. : graph. Darst.

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Titel:
Stabilität piezoresistiver Siliziumsensoren
Verantwortlichkeitsangabe: Arne Nakladal
Autor/in / Beteiligte Person: Nakladal, Arne
Verwandtes Werk:
Veröffentlichung: Dresden [u.a.]: Dresden Univ. Press, 1998
Medientyp: Monographie, Hochschulschrift
Datenträgertyp: Gedruckte Ressource
Umfang: XV, 123 S. : graph. Darst.
ISBN: 3933168023 brosch. : DM 59.00, sfr 53.50
Schlagwort:
  • Siliciumsensor
  • Halbleiterdrucksensor
  • Passivschicht
  • Messgenauigkeit
Sonstiges:
  • Gesamttitelangabe: Dresdner Beiträge zur Sensorik ; Bd. 6
  • Dresden, Techn. Univ., Diss., 1997
  • Lokale Notationen: WFE; WFJ
  • Fächer: Ingenieurwissenschaft / Technik
  • hbz Verbund-ID: HT010617281

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