Herstellung und Charakterisierung von PECVD-abgeschiedenem mikrokristallinem Silizium
2000
Monographie, Hochschulschrift, Gedruckte Ressource
- 183 Seiten : Illustrationen
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Titel: |
Herstellung und Charakterisierung von PECVD-abgeschiedenem mikrokristallinem Silizium
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Verantwortlichkeitsangabe: | von Günter Grabosch |
Autor/in / Beteiligte Person: | Grabosch, Günter (1962-) |
Veröffentlichung: | 2000 |
Medientyp: | Monographie, Hochschulschrift |
Datenträgertyp: | Gedruckte Ressource |
Umfang: | 183 Seiten : Illustrationen |
Sonstiges: |
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