Wasserstoff-induzierte Silizium-Schichtabtrennung durch Implantations- und Plasmaprozesse für die Herstellung von SOI-Substraten
Berlin: Logos, 2007
Monographie, Hochschulschrift, Gedruckte Ressource
- VI, 119 Seiten : Illustrationen
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Titel: |
Wasserstoff-induzierte Silizium-Schichtabtrennung durch Implantations- und Plasmaprozesse für die Herstellung von SOI-Substraten
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Verantwortlichkeitsangabe: | Wolfgang Düngen |
Autor/in / Beteiligte Person: | Düngen, Wolfgang (1977-) |
Veröffentlichung: | Berlin: Logos, 2007 |
Medientyp: | Monographie, Hochschulschrift |
Datenträgertyp: | Gedruckte Ressource |
Umfang: | VI, 119 Seiten : Illustrationen |
ISBN: | 9783832518080 kart. : EUR 40.50 (DE), EUR 41.60 (AT), sfr 72.10 (freier Pr.) |
Schlagwort: |
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Sonstiges: |
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